微机械薄膜残余应力研究

• 作者: 乔大勇 苑伟政 虞益挺
• 来源期刊: 微细加工技术
• 学科: 物理学
• 关键词: 微机电系统 薄膜残余应力 微旋转结构 应变相消 快速热退火
• 年，卷（期）: 2005,（2）
• 所属期刊栏目: 薄膜技术
• 页码范围: 46-50
• 页数: 5页
• 分类号: O472+.91
• 字数: 2669字
• 语种: 中文

摘要

阐述了薄膜残余应力对MEMS器件结构的影响及其产生根源、测量技术与控制技术,对多层薄膜结构中热应力的产生进行了有限元建模和理论分析.通过对一种残余应力测量结构(微旋转结构)的仿真分析表明,旋转梁端的偏移量与残余应变成线性对应关系.最后,简单介绍了沉积工艺条件、应变相消法以及快速热退火在薄膜残余应力控制中的应用.