中频交流脉冲等离子体源的研究

• 作者: 危立辉 孙奉娄 陈侃松 顾豪爽
• 来源期刊: 电子器件
• 学科: 物理学
• 关键词: 中频交流脉冲等离子体源 弧光放电 空心阴极效应 离子渗氮
• 年，卷（期）: 2005,（2）
• 页码范围: 271-274
• 页数: 4页
• 分类号: O461
• 字数: 4004字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-9490.2005.02.012

摘要

采用中频交流脉冲等离子体源进行了抑制弧光放电和空心阴极效应以及离子渗氮工艺的实验.结果表明,交流脉冲放电在抑制弧光放电和空心阴极效应方面是非常有效的,对于高铬钢材料表面的离子渗氮作用是明显的.它为解决材料表面处理中的难点(小孔、深孔、狭缝的处理)提供了一种新的探索方案;也为等离子体技术应用领域中处理不导电的基体或薄膜以及磁控溅射新工艺(交流孪生溅射技术)提供了研究设备.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	危立辉	中南民族大学电子信息工程学院	24	121	6.0	10.0
2	孙奉娄	中南民族大学电子信息工程学院	76	434	13.0	15.0
3	顾豪爽	湖北大学物理学与电子技术学院	86	386	10.0	14.0
4	陈侃松	湖北大学物理学与电子技术学院	38	175	7.0	11.0