IC化半导体压力传感器的最新动向

• 来源期刊: 国外传感技术
• 学科: 工学
• 关键词: IC 半导体 压力传感器 开发现状 实用化
• 年，卷（期）: 2005,（1）
• 页码范围: i002
• 页数: 1页
• 分类号: TN402

摘要

本文介绍IC化半导体压力传感器的开发动向，美国IC化半导体压力传感器的实用化现状，日本IC化半导体压力传感器的开发现状，指明IC化压力传感器的用途及面临和期待解决的问题。