利用衍射光原理开发研制沟槽形状测试仪

• 作者: 刘海涛 吉川敏治 朴英浩
• 来源期刊: 记录媒体技术
• 学科: 工学
• 关键词: 衍射光 注塑成型 评价装置 基板 母盘 测试检验 主轴马达 自动测试 生产管理 激光波长
• 年，卷（期）: 2005,（2）
• 页码范围: 37-41
• 页数: 5页
• 分类号: TQ596

摘要

【正】绪论 光盘基板采用注塑成型方法来制造。注塑成型条件 决定基板沟槽的形状,因此生产管理方面是一项很重要 的管理项目。而且,验收光盘母盘时沟槽是否达到规格, 需要进行测试检验。这次开发成功的沟槽评价装置具有 使用方便,操作简单,实用性强等特点。并且,在光盘 制造所有工程上都可以使用此装置。在此作详细报告。