MEMS多层膜残余应力全场光学在线测试

• 作者: 李伟华 聂萌 黄庆安
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 残余应力 多层膜 曲率半径
• 年，卷（期）: 2005,（5）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 1028-1032
• 页数: 5页
• 分类号: TN401
• 字数: 2323字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2005.05.034

摘要

提出了一种基于背面腐蚀的多层膜残余应力测试方法.此法可以简化测量过程,仅需要依次腐蚀基片背面的各层薄膜,用激光全场测量法测出相应的曲率半径,而无须腐蚀基片正面有用层,就可以提取各层薄膜的残余应力.模拟及实验证明,这是一种精度较高而且简单易行的薄膜残余应力在线提取方法.