加速度传感器及其制造方法

• 作者: S.Wendar 乐其中
• 来源期刊: 国外传感技术
• 学科: 工学
• 关键词: 加速度传感器 移动 高精度 弹簧 电极 制造方法 开发 发明
• 年，卷（期）: 2005,（1）
• 页码范围: i002
• 页数: 1页
• 分类号: TN915

摘要

本发明开发的加速度传感器，显著减小了弹簧部及重锤式移动电极的自重形成的变形，尽管弹簧部和重锤式移动电极因其自重难免还有所变形，但已减小到微不足道的程度，实验结果表明，对高精度检测加速度几乎就无影响。