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摘要:
6-in diameter InP single crystals grown by the hot-wall LEC method and the mirror wafers;A Chemical-Based CMP Endpoint Technology;A comparison of noise handling techniques;A Customized Method for End Polishing of Single Mode Optical Fibres;A Dual Controller APC Engine Used for CMP Applications;A guideline for the design of sinusoidal excitation equipment
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内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 抛光
来源期刊 金属加工工艺与设备:英文版 学科 工学
关键词 抛光工艺 晶体生长 热墙LEC法 光学纤维
年,卷(期) 2005,(2) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 9-11
页数 3页 分类号 TG580.692
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研究主题发展历程
节点文献
抛光工艺
晶体生长
热墙LEC法
光学纤维
研究起点
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期刊影响力
金属加工工艺与设备:英文版
双月刊
北京市百万庄大街22号
出版文献量(篇)
170
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