光纤定位器件微小孔抛光技术

• 作者: RAMESH K 刘向东 刘玉婵 房丰洲 黄含
• 来源期刊: 纳米技术与精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 微小孔 线抛光 光纤定位器件 微加工
• 年，卷（期）: 2005,（2）
• 所属期刊栏目: 精密加工
• 页码范围: 146-150
• 页数: 5页
• 分类号: TG58
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-6030.2005.02.012

摘要

提出了利用金刚石涂层的金属线对光纤定位器件上微小孔抛光的新方法.为验证该方法,设计并制造了一个微型样机,该机器采用了振动系统以提高加工效率.为优化加工参数进行了系统的工艺研究.实验结果表明,采用这种抛光方法加工的微小内孔表面粗糙度可达到0.065 μm.