选择液相外延法制备GaAs SNOM微探尖

• 作者: 孙晓娟 张红治 梁秀萍 王志俊 胡礼中
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 选择液相外延 微探尖 扫描近场光学显微术
• 年，卷（期）: 2005,（6）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 1178-1181
• 页数: 4页
• 分类号: TN305
• 字数: 2290字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2005.06.022

摘要

使用GaAs(001)衬底模拟垂直腔面发射激光器(VCSEL)外延片表面,采用选择液相外延技术在其上面制备了用于超高密度光存储的扫描近场光学显微术GaAs微探尖阵列,并用扫描电子显微镜对微探尖阵列进行了表征.结果表明,在合适的条件下,微探尖呈金字塔状,并且有着较好的分布周期性.这对解决微探尖与VCSEL出光窗口的对准问题、批量制备问题和实现多探尖并行扫描具有实际应用价值.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	胡礼中	大连理工大学三束材料改性国家重点实验室	28	160	8.0	11.0
2	王志俊	大连理工大学三束材料改性国家重点实验室	7	34	4.0	5.0
3	梁秀萍	大连理工大学三束材料改性国家重点实验室	20	75	5.0	7.0
4	张红治	大连理工大学三束材料改性国家重点实验室	4	13	3.0	3.0
5	孙晓娟	大连理工大学三束材料改性国家重点实验室	4	13	3.0	3.0