轨道分子屏极高真空系统的抽气方程

• 作者: 杨亚天 达道安 阎少光
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 极高真空 轨道分子屏 抽气方程
• 年，卷（期）: 2005,（5）
• 所属期刊栏目: 学术论文
• 页码范围: 367-371
• 页数: 5页
• 分类号: O552
• 字数: 4272字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2005.05.012

摘要

地面真空系统中,气体处于封闭的真空容器内,达到平衡状态时,真空系统的抽气方程式是:P=Q/S;轨道分子屏系统是开放的,或者说具有部分真空容器,相应的抽气方程应该是怎样的形式呢?本文提出了一个物理模型,推导出了半球型及球冠型轨道分子屏极高真空系统的抽气方程.通过解含时间的微分方程,可得到相同的抽气方程.该方程适用于其它形状的轨道分子屏极高真空系统.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨亚天		18	40	3.0	5.0
2	达道安		33	265	8.0	15.0
3	阎少光		1	2	1.0	1.0