等离子热丝化学气相沉积金刚石膜工艺参数研究

• 作者: 付强 毕京锋 石玉龙
• 来源期刊: 功能材料
• 学科: 物理学
• 关键词: 等离子 热丝化学气相沉积 金刚石薄膜
• 年，卷（期）: 2005,（7）
• 所属期刊栏目: 研究与开发
• 页码范围: 1056-1058
• 页数: 3页
• 分类号: O484
• 字数: 2448字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9731.2005.07.026

摘要

采用等离子热丝化学气相沉积(PHFCVD)装置进行了金刚石薄膜的制备实验.实验条件为:氢气流量为200sccm,甲烷流量为2～12sccm,基体温度为700～900℃,偏压为0～400V,真空室压力为4kPa.通过实验得出了甲烷含量、基体温度和偏压对沉积金刚石膜的影响,并运用扫描电子显微镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)和X射线衍射(XRD)等测试方法对金刚石薄膜进行了观察分析.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	毕京锋	青岛科技大学材料与环境科学学院	3	11	2.0	3.0
2	石玉龙	青岛科技大学材料与环境科学学院	25	315	9.0	17.0
3	付强	青岛科技大学材料与环境科学学院	3	9	2.0	3.0