掺铝氧化锌薄膜的红外性能及机制

• 作者: 付恩刚 庄大明 张弓
• 来源期刊: 金属学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 磁控溅射 ZAO薄膜 红外反射
• 年，卷（期）: 2005,（3）
• 页码范围: 333-336
• 页数: 4页
• 分类号: O484.4
• 字数: 3593字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0412-1961.2005.03.022

摘要

采用中频交流磁控溅射氧化锌铝(ZnO+2%Al2O3)陶瓷靶材的方法制备了掺铝氧化锌ZAO(ZnO:Al)薄膜.利用红外光谱仪测试了薄膜的红外反射性能,研究了薄膜厚度、基体温度和氩气压力对ZAO薄膜红外反射性能的影响规律,确定了制备具有高红外反射率的ZAO薄膜的工艺参数.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张弓	清华大学机械工程系	81	914	16.0	27.0
2	庄大明	清华大学机械工程系	104	1374	22.0	32.0
3	付恩刚	清华大学机械工程系	5	127	5.0	5.0