溶胶-凝胶法Ba2TiSi2O8铁电薄膜的制备及结构表征

• 作者: 严辉 代伍坤 侯育冬 朱满康 邵明明 陈晓阳
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 铁电薄膜 Ba2TiSi2O8 钡钛硅石 溶胶-凝胶法
• 年，卷（期）: 2005,（2）
• 页码范围: 283-287
• 页数: 5页
• 分类号: O484.1
• 字数: 3177字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-985X.2005.02.019

摘要

采用溶胶-凝胶工艺在Si(100)衬底上制备了Ba2 TiSi2O8(BTS)薄膜.通过XRD衍射、傅立叶红外(FT-IR)、拉曼(Raman)散射光谱和原子力显微镜(AFM)对薄膜的显微结构进行了表征.AFM分析显示,BTS薄膜表面光滑,晶粒尺寸在0.30～0.50μm.薄膜结构分析表明:随着退火温度的增加,BTS薄膜的结晶度增加,薄膜结构变得更加致密.同时,随着退火温度的升高,晶胞尺寸出现了收缩,导致了BTS薄膜的四方比c/a从0.613上升到0.618,将对薄膜的压电性能产生影响.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	严辉	北京工业大学教育部新型功能材料重点实验室	178	1225	16.0	29.0
2	朱满康	北京工业大学教育部新型功能材料重点实验室	73	372	11.0	15.0
3	代伍坤	北京工业大学教育部新型功能材料重点实验室	2	18	2.0	2.0
4	侯育冬	北京工业大学教育部新型功能材料重点实验室	49	195	9.0	11.0
5	邵明明		3	15	2.0	3.0
6	陈晓阳		2	14	2.0	2.0