薄膜应力激光测量方法分析

• 作者: 张贵彦 王成 甘志宏 缪同群 肖孟超 钱龙生 马莹
• 来源期刊: 激光技术
• 学科: 物理学
• 关键词: 激光 薄膜 应力 测量
• 年，卷（期）: 2005,（1）
• 所属期刊栏目: 综述、评述
• 页码范围: 98-100
• 页数: 3页
• 分类号: O484.5
• 字数: 2576字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-3806.2005.01.004

摘要

总结了薄膜应力的一些测量方法.分析了利用测量基片弯曲曲率的激光宏观变形分析法--激光干涉法、激光束偏转法的理论依据及其测量原理,计算了各种测量方法的测量精度.激光干涉法的精度可达0.92%,可测量的最小应力值为15.7MPa;激光束偏转法较低,为2.12%,可测量的最小应力值为25.5MPa,空间分辨率低,约为100μm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	钱龙生	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	77	1167	19.0	29.0
2	王成	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	134	1874	23.0	36.0
3	肖孟超	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	9	74	6.0	8.0
4	缪同群	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	13	101	5.0	10.0
5	马莹	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	11	78	5.0	8.0
6	张贵彦	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	11	119	6.0	10.0
7	甘志宏	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	1	8	1.0	1.0