微细电化学加工技术

• 作者: 刘江文 曾繁章 郭钟宁
• 来源期刊: 机电工程技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微细零件 微细电化学加工 电化学显微镜 EFAB CELT 超微细电极
• 年，卷（期）: 2005,（5）
• 所属期刊栏目: 专题综述
• 页码范围: 11-14,23
• 页数: 5页
• 分类号: TG662
• 字数: 3725字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1009-9492.2005.05.004

摘要

介绍了微细电化学加工的原理及特点,详细介绍了基于电化学扫描探针显微镜进行的电化学微细加工技术、EFAB制作技术、刻蚀剂层技术(CELT)、超微细电极电化学加工技术等几种目前主要的微细电化学加工技术.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郭钟宁	广东工业大学机电学院	197	1090	16.0	23.0
2	曾繁章	广东工业大学机电学院	3	45	3.0	3.0
3	刘江文	广东工业大学机电学院	9	36	3.0	6.0