具有100％实时检测“巨观缺陷”功能的自动化系统

• 作者: 章从福
• 来源期刊: 半导体信息
• 学科: 工学
• 关键词: 检测功能 自动化系统 化学机械 研磨工艺 随机取样 工艺处方 人工检测 模块单元 曝光过程 检测模块
• 年，卷（期）: bdtxx_2005,（1）
• 页码范围: 17-18
• 页数: 2页
• 分类号: TP274

摘要

【正】Rudolph Technologies公开发表了一部可以使用在微影和化学机械研磨工艺(CMP),并且具有 100%在线"巨观缺陷"实时检测功能的自动化系统。透过此机台,厂房人员将可以不再需要采用随机取样检测策略。