激光清洗技术在微电子领域的应用

• 作者: 赵志明
• 来源期刊: 电子电路与贴装
• 学科: 工学
• 关键词: 激光清洗 微电子 应用 工作原理
• 年，卷（期）: 2005,（2）
• 页码范围: 46-50
• 页数: 5页
• 分类号: TN305.97

摘要

本文介绍了激光清洗技术在微电子领域的应用，对该技术在清除细微颗粒方面所具有的独到的优越性进行了探讨。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵志明	西安交通大学电信学院	8	20	2.0	4.0