RF MEMS开关的桥膜弹性系数计算

• 作者: 徐爱兰 惠春 邵雯雯
• 来源期刊: 电子元件与材料
• 学科: 工学
• 关键词: 电子技术 RF MEMS开关 桥膜 驱动电压 弹性系数
• 年，卷（期）: 2005,（3）
• 所属期刊栏目: 研究与试制
• 页码范围: 47-50
• 页数: 4页
• 分类号: TN405
• 字数: 2483字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-2028.2005.03.015

摘要

桥膜弹性系数是影响RF MEMS开关启动电压的重要参量.对RF MEMS开关进行静态力学分析,指出常用的桥膜弹性系数的计算公式未考虑开关实际采用的共面波导(CPW)结构.考虑桥膜上实际的静电力分布,修正了桥膜弹性系数的计算公式.根据修正后的计算公式,进一步探讨了减小桥膜弹性系数的方法,以降低开关的启动电压.