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摘要:
特大型硅晶坩埚是电磁感应硅晶冶炼领域的前沿技术产品,受工业设备及技术条件的制约,其研发试制难度极大.本文采用常规振动成型等工业设备试制了Φ1400/Φ1160 mm× 2300 mm特大型硅晶坩埚,从关键设备的合理改造、原材料的精选、生产流程及工艺技术、参数优化等方面加以科学控制,对特大型硅晶坩埚的试验研制进行了探索,成功研制出符合客户使用质量性能要求的坩埚,并就其质量特性进行了初步的分析和讨论.
内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 特大型硅晶生长用坩埚的工业试验研制
来源期刊 炭素技术 学科 工学
关键词 特大型硅晶坩埚 生产研制 工业试验
年,卷(期) 2005,(1) 所属期刊栏目 实验研究
研究方向 页码范围 11-15
页数 5页 分类号 TQ127.1+1
字数 5432字 语种 中文
DOI 10.3969/j.issn.1001-3741.2005.01.003
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作者信息
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1 陈壹华 华南师范大学南海学院 6 72 4.0 6.0
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研究主题发展历程
节点文献
特大型硅晶坩埚
生产研制
工业试验
研究起点
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研究分支
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引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
炭素技术
双月刊
1001-3741
22-1147/TQ
大16开
吉林省吉林市哈达湾和平街9号
12-308
1982
chi
出版文献量(篇)
2248
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15
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