日本开发出高纯度胶体二氧化硅的新方法

• 来源期刊: 硅铝化合物
• 学科: 工学
• 关键词: 日本 胶体二氧化硅 硅晶片抛光剂 溶胶-凝胶方法
• 年，卷（期）: 2005,（2）
• 页码范围: 36
• 页数: 1页
• 分类号: TQ127.2

摘要

日本Fuso化学公司开发出一种水相超高纯度的胶体二氧化硅，其中二氧化硅的含量为现有产品的3倍多，到现在为止，以水作溶剂的胶体二氧化硅中，二氧化硅最高含量为12％，但使用优化的溶胶-凝胶方法可以使二氧化硅的最大浓度高达40％。该公司的超高纯度胶体二氧化硅占有全世界硅晶片抛光剂市场份额的80％。