周期可变光栅的研制及应用

• 作者: 李以贵 陈水良
• 来源期刊: 微细加工技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微光机电系统 周期可变光栅 形状记忆合金
• 年，卷（期）: 2005,（1）
• 所属期刊栏目: 光子束技术
• 页码范围: 26-28
• 页数: 3页
• 分类号: TN305.7
• 字数: 923字
• 语种: 中文

摘要

设计制作了一种用形状记忆合金驱动的周期可变光栅.用硅微细加工技术制作一种类似弹簧结构的光栅,将光栅与形状记忆合金相连.通上电流,合金温度改变引起形变,因此可以拉伸光栅,并改变光栅周期.对合金的形变特性及光栅的衍射特性都作了测试.实验表明,光栅最大可被拉伸10%,衍射角变化为0.32 mrad.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈水良		2	5	1.0	2.0
2	李以贵		2	5	1.0	2.0