微流量传感器的制造方法

• 来源期刊: 国外传感技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微流量 流量检测 传感器 精度 零点漂移 制造方法 制造成本 热驱动 输出 阻值
• 年，卷（期）: 2005,（1）
• 页码范围: i003
• 页数: 1页
• 分类号: TN949

摘要

本发明开发的微流量传感器的制造方法，对1对电阻器中低电阻值的1个电阻器采取发热驱动手段，利用单调增大，电阻值很容易协调一致，从而简化了调整作业，减少了调整时间，降低了制造成本，还提高了流量检测精度，减少了输出的零点漂移量。