微机电系统的研究与展望

• 作者: 刘文艳 张慧杰 林忠华 胡国清
• 来源期刊: 微电子学
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统 硅微细加工 微传感器 微执行器
• 年，卷（期）: 2005,（1）
• 所属期刊栏目: 综合评述
• 页码范围: 71-75
• 页数: 5页
• 分类号: TN454
• 字数: 5527字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-3365.2005.01.020

摘要

微机电系统是面向21世纪的高新技术.文章对微机电系统产生的背景、组成特征、发展现状及应用前景进行了全面分析.在此基础上,论述了MEMS未来发展的趋势.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	胡国清	厦门大学机电工程系	61	929	15.0	29.0
2	刘文艳	厦门大学机电工程系	19	354	9.0	18.0
3	张慧杰	厦门大学机电工程系	5	235	4.0	5.0
4	林忠华	厦门大学机电工程系	4	224	3.0	4.0