砷化镓中铜的SIMS定量分析

• 作者: 何友琴 马农农
• 来源期刊: 现代仪器与医疗
• 关键词: SIMS 相对灵敏度因子 定量分析
• 年，卷（期）: 2005,（6）
• 所属期刊栏目: 研究报告
• 页码范围: 44-45,47
• 页数: 3页
• 分类号: O6
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7916.2005.06.018

摘要

砷化镓中铜的SIMS定量分析是有效控制砷化镓中杂质铜的浓度的重要手段,本文介绍用相对灵敏度因子定量分析砷化镓中铜的方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	何友琴	中国电子科技集团公司第四十六研究所	4	0	0.0	0.0
2	马农农	中国电子科技集团公司第四十六研究所	7	12	2.0	3.0