纳米加工和纳米电子器件

• 作者: 刘明 易里成荣 李志钢 涂德钰 王丛舜 谢常青 龙世兵
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 自上而下的纳米加工 纳米器件 单电子器件 共振隧穿器件
• 年，卷（期）: 2005,（9）
• 所属期刊栏目: 专家论坛
• 页码范围: 393-397
• 页数: 5页
• 分类号: TN405
• 字数: 4784字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2005.09.001

摘要

介绍了电子束曝光技术、EUV光刻技术和X射线光刻技术的进展;对各种纳米电子器件如单电子器件、共振隧穿器件和分子电子器件的研究现状及面临的主要挑战进行了讨论.