大型非球面主镜细磨中的一种在线检测技术

• 作者: 万勇建 曾志革 杨力 范斌 袁家虎 郑耀
• 来源期刊: 光电工程
• 学科: 工学
• 关键词: 在线检测 细磨 非球面镜 数控机床
• 年，卷（期）: 2005,（1）
• 所属期刊栏目: 先进光学制造技术
• 页码范围: 1-4
• 页数: 4页
• 分类号: TQ171.6
• 字数: 2874字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-501X.2005.01.001

摘要

提出了一种在大型非球面镜细磨加工阶段使用的低成本在线检测技术.该技术将高精度测长装置集成在普通数控加工机床上,构成在线测量系统.通过测量工件面形上的各点空间坐标,并将测量数据经过坐标变换、误差补偿等处理,实现在线面形测量.与Leize三坐标测量机对比测量同一个面形,二者的测量结果误差P-V为4.0μm,RMS为0.8μm.在普通数控细磨机床上实现了在线面形测量且测量精度优于5μm.利用此系统,实现了细磨加工过程的镜面面形在线检测.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	袁家虎	中国科学院光电技术研究所	38	600	15.0	23.0
2	杨力	中国科学院光电技术研究所	66	783	17.0	26.0
3	万勇建	中国科学院光电技术研究所	33	180	8.0	11.0
7	曾志革	中国科学院光电技术研究所	21	199	9.0	13.0
8	范斌	中国科学院光电技术研究所	34	161	7.0	10.0
12	郑耀	中国科学院光电技术研究所	4	48	3.0	4.0