小孔流导测量方法的研究

• 作者: 冯焱 张涤新 成永军 赵定众 赵澜 郭美如
• 来源期刊: 真空与低温
• 学科: 工学
• 关键词: 流导 测量方法 定容法 恒压法
• 年，卷（期）: 2005,（1）
• 所属期刊栏目: 研究报告
• 页码范围: 22-28
• 页数: 7页
• 分类号: TB771
• 字数: 3423字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-7086.2005.01.005

摘要

在分子流条件下,给出了定容法和恒压法测量流导的方法,分析了测量不确定度.采用定容法气体微流量校准装置和恒压法气体微流量校准装置分别对小孔流导进行了测量,对2种测量方法进行了比对,一致性好于1.0%.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郭美如		28	208	8.0	12.0
2	冯焱		51	463	12.0	17.0
3	张涤新		62	468	12.0	17.0
4	赵澜		28	161	8.0	10.0
5	成永军		39	271	9.0	13.0
6	赵定众		8	40	4.0	5.0