ZnO肖特基势垒紫外探测器

• 作者: 李燕 邓宏 高晖
• 来源期刊: 发光学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 六棱微管ZnO 肖特基势垒结 紫外光探测器 I-V特性 光响应度 量子效率
• 年，卷（期）: 2005,（1）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 135-138
• 页数: 4页
• 分类号: O472.3
• 字数: 1780字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-7032.2005.01.025

摘要

以p-Si(111)为衬底,用水热法首次制得六棱微管ZnO.并以此为有源区利用平面磁控溅射技术沉积得到Ag叉指状电极,从而制作了Ag/n-ZnO肖特基势垒结紫外探测器.对该紫外光探测器的暗电流和365nm波长光照下的光电流、光响应和量子效率进行了测试.测试结果表明:Ag和ZnO六棱管间已形成肖特基接触,其有效势垒高度为0.35 eV.无光照时,暗电流很小,当用λ=365 nm的光照射Ag/n-ZnO肖特基结时,在5,9 V偏压时,光生电流分别为25.6,57.9μA.Ag/n-ZnO紫外探测器有明显的光响应特性和较高的量子效率,在366 nm波长处,光响应度达到最大值0.161 A/W,量子效率为54.7%.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	邓宏	电子科技大学微电子与固体电子学院	72	653	14.0	22.0
2	李燕	电子科技大学微电子与固体电子学院	29	259	9.0	15.0
3	高晖	电子科技大学微电子与固体电子学院	1	40	1.0	1.0