TiO2系湿敏元件研究和进展

• 作者: 孙以材 张毅 潘国峰
• 来源期刊: 传感器世界
• 学科: 工学
• 关键词: 二氧化钛 湿敏 特性 制备 薄膜
• 年，卷（期）: 2005,（1）
• 所属期刊栏目: 技术综述
• 页码范围: 11-14
• 页数: 4页
• 分类号: TB381
• 字数: 4080字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-883X.2005.01.002

摘要

TiO2化学性质稳定,感湿性能优良,来源广泛,价格低廉,因而TiO2系湿敏元件得到了广泛的研究和应用,是一类十分有前途的湿敏材料.本文综述了TiO2系湿敏元件的研究和进展,详细介绍了几种TiO2系湿敏元件的材料配方,制备工艺,元件型式及湿敏性能.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孙以材		117	1247	18.0	31.0
2	张毅		13	71	5.0	8.0
3	潘国峰		70	462	10.0	18.0