反射率计超高真空动密封馈入系统的研制

• 作者: 刘伟 薛松
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 超高真空 密封 馈入系统 差分
• 年，卷（期）: 2005,（3）
• 所属期刊栏目: 真空技术应用
• 页码范围: 43-44
• 页数: 2页
• 分类号: TB79
• 字数: 1314字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-0322.2005.03.011

摘要

结合在NSRL同步辐射光束线和实验站的实际工作,对新设计的超高真空高精度同轴旋转平移差分馈入系统的密封型式和结构进行了描述,本系统可以完成超高真空条件下的高精度旋转平移轴系的馈入,已在NSRL反射率计实验站上得到成功使用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘伟	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	422	5903	37.0	59.0
2	薛松	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	49	210	8.0	12.0