半导体行业用靶材及蒸发源材料

• 作者: 尚再艳 李勇军 杨永刚 江轩 闫琳
• 来源期刊: 集成电路应用
• 关键词: 溅射靶材 半导体行业
• 年，卷（期）: 2005,（1）
• 所属期刊栏目: 技术与工艺
• 页码范围: 67-68
• 页数: 2页
• 字数: 1815字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1674-2583.2005.01.023

摘要

在不同产业相对比较之下,半导体产业对于溅射靶材、蒸发源材料的要求是最高的,半导体领域应用靶材是世界靶材市场的主要组成之一.本文主要介绍了靶材的分类、半导体行业用靶材的种类及制备工艺以及未来半导体行业用靶材的发展趋势.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李勇军		7	23	3.0	4.0
2	杨永刚		3	5	2.0	2.0
3	尚再艳		6	25	2.0	5.0
4	江轩		3	3	1.0	1.0
5	闫琳		1	3	1.0	1.0