表面形貌光学法测量技术

• 作者: 冯斌 王建华
• 来源期刊: 计量与测试技术
• 学科: 工学
• 关键词: 表面微观形貌 光学方法 测量
• 年，卷（期）: 2005,（6）
• 所属期刊栏目: 计测技术
• 页码范围: 4-6
• 页数: 3页
• 分类号: TH74
• 字数: 3117字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-6941.2005.06.001

摘要

介绍了在表面微观形貌测量中常用的光学测量方法,分析了它们各自的原理和优缺点,最后对光学法表面微观形貌测量技术的发展作了简要评述.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王建华	西安工业学院光电测试技术研究所	81	400	10.0	16.0
2	冯斌	西安工业学院光电测试技术研究所	25	232	9.0	15.0