新型SAW谐振式微加速度计的设计

• 作者: 刘骏跃 陈明
• 来源期刊: 测控技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微型加速度计 静电力 开/闭环切换
• 年，卷（期）: 2005,（1）
• 所属期刊栏目: 仪表与传感器
• 页码范围: 8-10
• 页数: 3页
• 分类号: TH82
• 字数: 2420字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-8829.2005.01.003

摘要

提出了一种基于静电力负反馈、并可进行开/闭环切换的新型加速度计,它既能保护石英悬臂梁避免其疲劳或断裂,又能确保加速度计具有一定的测量范围和灵敏度.介绍了该新型加速度计的基本结构和工作原理.分析了电容器中静电力的非线性特征,给出了线性化静电力的实现方案及其控制器设计方法.最后,指出这一新型SAW加速度计的优越性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈明		184	2365	24.0	38.0
2	刘骏跃		10	66	5.0	7.0