MEMS可靠性与失效分析

• 作者: 孟光 张文明
• 来源期刊: 机械强度
• 关键词: 微电子机械系统 失效模式 可靠性 失效分析
• 年，卷（期）: 2005,（6）
• 所属期刊栏目: 研究简报
• 页码范围: 855-859
• 页数: 5页
• 分类号: TB114.3|TP202
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9669.2005.06.028

摘要

主要探讨目前微电子机械系统(micro-electro-mechanical system,MEMS)中采用的分别以费用和以失效分析/质量保证为主的两种可靠性分析方法,并介绍其他相关的分析方法;对国内外广泛运用的众多失效分析基本单元结构进行详细分析;叙述MEMS中各种不同的失效模式、失效机理、失效分析应用范围及采取的相应措施;并就MEMS可能出现的失效模式提出相关的微分析技术,为MEMS提供可靠性保障,有利于MEMS的可靠性设计.