硅微机械悬臂梁谐振器的电热激励及光纤拾振技术的研究

• 作者: 刘月明 张少君 赵小强
• 来源期刊: 西安理工大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 硅微谐振器 电热激励 光纤传感检测
• 年，卷（期）: 2005,（2）
• 页码范围: 188-191
• 页数: 4页
• 分类号: TN202
• 字数: 2196字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-4710.2005.02.018

摘要

用理论分析方法研究了硅微悬臂梁的电热激振机理,得到了微机械悬臂梁电热激励下的温度场分布,并推导出了镀膜双层硅微悬臂梁的电热激励热力矩.利用硅微机械加工工艺制作了双层结构硅微悬臂梁谐振器,通过在硅微悬臂梁上制作的热激励电阻,用电热方法对硅微谐振器实现了激振.设计了光纤传感检测系统用于硅微谐振器微弱谐振信号的拾取,并成功检测到了硅微谐振器的前3阶谐振信号.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘月明	西安理工大学机械与精密仪器工程学院	14	60	5.0	7.0
2	张少君	西安理工大学理学院	16	86	5.0	9.0
3	赵小强	西安理工大学机械与精密仪器工程学院	2	18	1.0	2.0