LCoS反射层的实验研究

• 作者: 凌志华 刘明 宋玉龙 欧毅
• 来源期刊: 液晶与显示
• 学科: 工学
• 关键词: LCoS 电子束蒸发 反射率 电导率
• 年，卷（期）: 2005,（6）
• 所属期刊栏目: 研究报告
• 页码范围: 554-557
• 页数: 4页
• 分类号: TN873.93|O484.4
• 字数: 3395字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-2780.2005.06.017

摘要

LCoS技术是硅基CMOS半导体集成电路技术和液晶显示技术相结合的新技术.铝膜作为LCoS的反射电极,要求有较高的反射率和电导率.采用电子束蒸发的方法,以高纯度的Al为靶材,硅片为衬底,制备了不同厚度的Al反射膜,并测量了在可见光范围内反射率曲线,分析了薄膜的致密性和电导率.实验结果表明,当Al层很薄时,膜的连续性较差,呈岛状或网状结构,膜的导电性不好;如果沉积较厚(1 μm以上)则容易形成"铝丘",即出现多晶态的A1分布,一方面使A1膜表面粗糙,降低其镜面反射率,同样也将严重影响Al膜的电学性能.选定50 nm厚度Al膜作为LCoS的反射层为最佳.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘明		4	23	2.0	4.0
2	欧毅		1	12	1.0	1.0
3	宋玉龙		1	12	1.0	1.0
4	凌志华		3	23	2.0	3.0