微小激光加工区温度测量的准确性研究

• 作者: 叶玉堂 吴云峰 张雪琴 焦世龙 王昱琳 范超 赵爱英
• 来源期刊: 半导体光电
• 学科: 工学
• 关键词: 辐射测温 温度测量 单模尾纤式探测器
• 年，卷（期）: 2005,（6）
• 所属期刊栏目: 材料、结构及工艺
• 页码范围: 531-534
• 页数: 4页
• 分类号: TN305
• 字数: 2667字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-5868.2005.06.017

摘要

利用辐射测温系统对半导体微细加工高温区进行温度测量时,所测温度的准确性及分布细节会受多种因素的影响.理论分析表明,对于像差校正系统,杂散光及探测器光敏面面积是影响测温系统温度测量准确性的主要因素,因此将原有探测器更改为带单模尾纤式探测器以限制杂散光并减小光接收面面积.实验证明这种方法是有效的,基本满足微小面元温度测量的要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴云峰	电子科技大学光电信息学院	106	653	13.0	18.0
2	叶玉堂	电子科技大学光电信息学院	170	1471	17.0	30.0
3	焦世龙	电子科技大学光电信息学院	16	90	6.0	8.0
4	张雪琴	电子科技大学光电信息学院	6	22	3.0	4.0
5	范超	电子科技大学光电信息学院	21	102	7.0	8.0
6	王昱琳	电子科技大学光电信息学院	25	115	6.0	9.0
7	赵爱英	电子科技大学光电信息学院	4	11	2.0	3.0