微波ECR等离子体特性及其对DLC膜性能的影响

• 作者: 丁万昱 刘天伟 张治国 徐军 邓新绿 陈小锰
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 类金刚石膜 朗缪尔探针 微波电子回旋共振 等离子体密度 电子温度
• 年，卷（期）: 2005,（2）
• 所属期刊栏目: 技术交流
• 页码范围: 146-149
• 页数: 4页
• 分类号: O453.6|O434.14
• 字数: 2655字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2005.02.016

摘要

为了解并优化在微波ECR等离子体增强化学气相沉积制备类金刚石膜工艺研究中的等离子体特性,利用朗缪尔探针法系统地测量了等离子体密度(Ne)、电子温度(Te)随工作气压(p)变化的关系.DLC膜的结构和性能依赖于沉积条件,提高等离子体密度有利于DLC膜的生长.本文示出了不同的CH4流量时,DLC膜的拉曼光谱和表面均方根粗糙度Rrms变化曲线,阐述了等离子体密度Ne、电子温度Te对DLC膜结构和性能的影响.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	邓新绿	大连理工大学三束材料改性国家重点实验室	28	356	9.0	17.0
2	丁万昱	大连理工大学三束材料改性国家重点实验室	10	77	6.0	8.0
3	徐军	大连理工大学三束材料改性国家重点实验室	51	346	11.0	14.0
4	刘天伟	大连理工大学三束材料改性国家重点实验室	7	69	4.0	7.0
5	张治国	大连理工大学三束材料改性国家重点实验室	6	39	4.0	6.0
6	陈小锰	大连理工大学三束材料改性国家重点实验室	2	29	2.0	2.0