集成电路晶圆厂建造施工监理心得

• 作者: 周林
• 来源期刊: 造船工业建设
• 学科: 工学
• 关键词: 集成电路晶圆厂 监理 管理 施工监理 集成电路 建造过程 晶圆 技术工艺 监理工作 工程
• 年，卷（期）: 2005,（3）
• 页码范围: 145-149
• 页数: 5页
• 分类号: TU712.2

摘要

本文是作者通过对集成电路晶圆厂建造过程的施工监理，针对该类工程技术工艺，以及管理上的特点总结了一些监理工作心得。