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摘要:
利用乙二醇的分子结构和氢键在10万级的超净环境下成功地进行了多层乙二醇环境下的硅/硅直接键合,并在氮气保护下1100℃热处理后进行了拉力强度测试,平均键合强度达到了10MPa.SEM观测表明,在键合界面没有发现孔洞和空隙.该方法同样适用于Ⅲ-Ⅴ族化合物的直接键合.这为发展多层结构、多功能集成的MEMS结构器件奠定了良好的工艺基础.
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内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 乙二醇辅助多层硅/硅直接键合
来源期刊 半导体学报 学科 工学
关键词 微电子机械系统 乙二醇 键合
年,卷(期) 2005,(2) 所属期刊栏目 研究论文
研究方向 页码范围 395-398
页数 4页 分类号 TN365
字数 2017字 语种 中文
DOI 10.3321/j.issn:0253-4177.2005.02.034
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 徐晨 北京工业大学电子信息与控制工程学院北京市光电子技术实验室 63 295 9.0 13.0
2 沈光地 北京工业大学电子信息与控制工程学院北京市光电子技术实验室 192 1444 18.0 29.0
3 杨道虹 北京工业大学电子信息与控制工程学院北京市光电子技术实验室 11 63 5.0 7.0
传播情况
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研究主题发展历程
节点文献
微电子机械系统
乙二醇
键合
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
半导体学报(英文版)
月刊
1674-4926
11-5781/TN
大16开
北京912信箱
2-184
1980
eng
出版文献量(篇)
6983
总下载数(次)
8
总被引数(次)
35317
相关基金
国家高技术研究发展计划(863计划)
英文译名:The National High Technology Research and Development Program of China
官方网址:http://www.863.org.cn
项目类型:重点项目
学科类型:信息技术
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