乙二醇辅助多层硅/硅直接键合

• 作者: 徐晨 杨道虹 沈光地
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微电子机械系统 乙二醇 键合
• 年，卷（期）: 2005,（2）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 395-398
• 页数: 4页
• 分类号: TN365
• 字数: 2017字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2005.02.034

摘要

利用乙二醇的分子结构和氢键在10万级的超净环境下成功地进行了多层乙二醇环境下的硅/硅直接键合,并在氮气保护下1100℃热处理后进行了拉力强度测试,平均键合强度达到了10MPa.SEM观测表明,在键合界面没有发现孔洞和空隙.该方法同样适用于Ⅲ-Ⅴ族化合物的直接键合.这为发展多层结构、多功能集成的MEMS结构器件奠定了良好的工艺基础.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐晨	北京工业大学电子信息与控制工程学院北京市光电子技术实验室	63	295	9.0	13.0
2	沈光地	北京工业大学电子信息与控制工程学院北京市光电子技术实验室	192	1444	18.0	29.0
3	杨道虹	北京工业大学电子信息与控制工程学院北京市光电子技术实验室	11	63	5.0	7.0