基于SU-8胶转子的非接触压电微马达

• 作者: 刘景全 周广华 张金娅 杨斌 蔡炳初 陈迪
• 来源期刊: 微细加工技术
• 学科: 工学
• 关键词: SU-8胶转子 非接触 压电微马达
• 年，卷（期）: 2005,（1）
• 所属期刊栏目: 微机械加工技术
• 页码范围: 63-66
• 页数: 4页
• 分类号: TM282
• 字数: 2083字
• 语种: 中文

摘要

研制了一种非接触压电微马达,通过阻抗分析仪对定子进行扫频测试,确定其共振频率,并且详细介绍了SU-8胶转子制作的工艺流程.利用转速仪比较不同形状和尺寸的转子在调频和调压下的转速,从而确立压电微马达的最优转子.转子半径为6 mm,叶片宽度为6 mm的三叶片转子转速最高为3 569r/min.转子的启动电压和最高电压分别为8 V和24 V.