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CCD制造的关键工艺
CCD制造的关键工艺
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摘要：
CCD(电荷藕合器件)是一种在硅集成电路工艺线上制作的图像传感器.本文介绍了CCD的基本工作原理和制造的单项工艺,并详细介绍了其关键工艺:氧化、光刻、离子注入,还对各工艺所遇到的问题、相应的解决方法及发展状况进行了阐述.
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CCD
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光刻
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期刊影响力
传感器世界
主办单位：
北京信息科技大学
出版周期：
月刊
ISSN：
1006-883X
CN：
11-3736/TP
开本：
大16开
出版地：
北京市北四环中路35号教2楼501（北京9716信箱404分箱）
邮发代号：
82-694
创刊时间：
1995
语种：
chi
出版文献量（篇）
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