二氧化钒多晶薄膜的掺杂改性

• 作者: 但迪迪 李金华 范利宁 袁宁一 谢太斌 谢建生
• 来源期刊: 红外技术
• 学科: 工学
• 关键词: 二氧化钒薄膜 掺杂改性 相变
• 年，卷（期）: 2005,（5）
• 所属期刊栏目: 材料与器件
• 页码范围: 393-398
• 页数: 6页
• 分类号: TN213|O552.6|TB43
• 字数: 5308字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-8891.2005.05.011

摘要

掺杂能明显改变二氧化钒薄膜的相变温度,影响其电学和光学性质.研究表明:W、Mo等大尺寸原子掺杂可以有效降低相变温度,而Al、P等小尺寸原子掺杂则使相变温度升高.综述、比较了不同掺杂方法和掺杂元素对相变、相变滞豫、电阻和透射性能的影响,介绍了用离子束增强沉积方法对二氧化钒薄膜掺杂改性的优点.综合分析表明,通过对二氧化钒多晶薄膜的掺杂改性,将相变温度降至室温附近,可以大大提高薄膜的室温电阻温度系数.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李金华	江苏工业学院功能材料实验室	33	277	9.0	15.0
2	但迪迪	江苏工业学院功能材料实验室	4	38	3.0	4.0
3	谢太斌	江苏工业学院功能材料实验室	2	18	2.0	2.0
4	谢建生	江苏工业学院功能材料实验室	9	68	4.0	8.0
5	袁宁一	江苏工业学院功能材料实验室	26	154	8.0	10.0
6	范利宁	江苏工业学院功能材料实验室	4	30	3.0	4.0