进气口导流叶列对M型分子/增压泵抽速的影响

• 作者: 储继国 王雅婷 褚珍珍 陈列东 龚建华
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 分子泵 分子/增压泵 抽速 导流叶列
• 年，卷（期）: 2005,（5）
• 所属期刊栏目: 技术交流
• 页码范围: 396-400
• 页数: 5页
• 分类号: TB752+.27
• 字数: 3924字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2005.05.019

摘要

分子/增压泵抽气槽的入口流导是限制抽速的主要原因.抽气槽进气口增设一组百叶窗式导流叶列,可以显著减少入口流导的影响,大幅度提高抽气槽的抽速.本文分析了导流叶列的工作机理,提出了叶列参数优化方法,优化后的抽速可以提高20%.实测结果与理论值符合得很好.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	龚建华		9	59	5.0	7.0
2	王雅婷		2	15	2.0	2.0
3	储继国		5	23	2.0	4.0
4	陈列东		1	5	1.0	1.0
5	褚珍珍		1	5	1.0	1.0