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氢氧化四甲基铵腐蚀硅性能的改善
氢氧化四甲基铵腐蚀硅性能的改善
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摘要：
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文献信息
| 篇名 | 氢氧化四甲基铵腐蚀硅性能的改善 | ||
| 来源期刊 | 中国化学工程学报（英文版） | 学科 | |
| 关键词 | |||
| 年，卷（期） | 2005,（1） | 所属期刊栏目 | 反应动力学,催化及化学反应工程 |
| 研究方向 | 页码范围 | 48-50 | |
| 页数 | 3页 | 分类号 | |
| 字数 | 语种 | 英文 | |
| DOI | |||
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期刊影响力
中国化学工程学报(英文版)
主办单位：
中国化工学会
出版周期：
月刊
ISSN：
1004-9541
CN：
11-3270/TQ
开本：
大16开
出版地：
北京东城区青年湖南街13号
邮发代号：
80-448
创刊时间：
1982
语种：
eng
出版文献量（篇）
4237
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