集成铜电极的聚甲基丙烯酸甲脂电泳芯片的制作

• 作者: 刘军山 刘冲 周伟红 杜艳 杨秀荣 王立鼎 罗怡
• 来源期刊: 分析化学
• 学科: 化学
• 关键词: 聚甲基丙烯酸甲脂 电泳芯片 铜电极 二次曝光 电化学检测
• 年，卷（期）: 2005,（4）
• 所属期刊栏目: 仪器装置与实验技术
• 页码范围: 584-587
• 页数: 4页
• 分类号: O6
• 字数: 3408字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-3820.2005.04.037

摘要

在聚甲基丙烯酸甲脂(PMMA)上溅射金属Cu,然后利用光刻、湿法腐蚀的办法制出铜电极.与另一片含有微沟道的PMMA基片热键合,制成集成铜电极的电泳芯片.在电极制作过程中,对Cu表面上覆盖的正性光刻胶的前、后烘烤温度及时间进行了研究.对Cu腐蚀液的选择及其浓度的确定进行了分析.首次提出采用二次曝光的办法去除铜电极表面的光刻胶.为了证明该种方法的可行性,在制作的一种集成铜电极的PMMA芯片上,进行了循环伏安及动态伏安实验,采用安培法对葡萄糖溶液的电泳分析进行检测.