激光干涉仪测长精度校准方法的研究

• 作者: 廖澄清 朱小平 杜华 王蔚晨
• 来源期刊: 现代测量与实验室管理
• 学科: 工学
• 关键词: 激光干涉仪 测长精度 校准
• 年，卷（期）: 2005,（1）
• 所属期刊栏目: 计量测试
• 页码范围: 6-7
• 页数: 2页
• 分类号: TN744.3
• 字数: 1213字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-8764.2005.01.002

摘要

本文从激光干涉仪的工作原理出发,对激光干涉仪测长中存在的各种误差源构成进行分析,从而提出了测长精度校准的不同方法特点,通过理论分析和试验总结出测长精度校准的科学合理的方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	朱小平		29	142	6.0	11.0
2	杜华		33	201	8.0	12.0
3	王蔚晨		17	98	5.0	9.0