SPM探针制备的新进展

• 作者: 傅惠南 区仲荣 王宏霞
• 来源期刊: 新技术新工艺
• 学科: 工学
• 关键词: 扫描探针显微镜 探针 修饰针尖
• 年，卷（期）: 2005,（2）
• 所属期刊栏目: 新材料开发与研究
• 页码范围: 49-51
• 页数: 3页
• 分类号: TH742
• 字数: 3983字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-5311.2005.02.021

摘要

扫描探针显微技术应用越来越广泛,其探针制备技术也不断得到开发.从探针结构的改进和探针功能的扩展等方面对近几年来探针制备技术的相关发展进行了阐述,探讨了SPM技术的拓展和新应用,同时也讨论各种制备方法的特点和适用条件.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	傅惠南	广东工业大学机电学院	51	129	6.0	7.0
2	王宏霞	广东工业大学机电学院	5	36	5.0	5.0
3	区仲荣	广东工业大学机电学院	4	26	3.0	4.0