氧环境扫描电子显微分析:消除绝缘材料荷电效应的新方法

• 作者: 吉元 张虹 张隐奇 徐学东 权雪玲 郭汉生
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 荷电效应 氧环境 环境扫描电镜 Al2O3 Al(OH)3
• 年，卷（期）: 2005,（5）
• 所属期刊栏目: 学术论文
• 页码范围: 344-349
• 页数: 6页
• 分类号: TB303
• 字数: 2988字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2005.05.007

摘要

在环境扫描电镜(ESEM)中注入氧气,减少和消除绝缘样品表面在电子束辐照下产生的荷电效应.二次电子像的观察显示,在压力为130Pa～600Pa的ESEM中,氧气对Al2O3、Al(OH)3等氧化物、氢氧化物及生物样品的荷电补偿效果,优于常用的水蒸汽环境.通过吸收电流Ia的实时测试,评价了氧环境的荷电补偿效果.采用氧气减少表面荷电基于一个新的概念:在电子束的辐照下,电子受激解吸可造成表面氧亏损,使能带产生畸变,形成捕获电子的势阱.氧环境提供的氧离子可实现对氧空位的修复,从而消除了荷电效应.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吉元	北京工业大学固体微结构与性能研究所	42	159	7.0	9.0
2	张隐奇	北京工业大学固体微结构与性能研究所	24	92	5.0	7.0
3	权雪玲	北京工业大学固体微结构与性能研究所	6	37	4.0	6.0
4	徐学东	北京工业大学固体微结构与性能研究所	34	179	7.0	11.0
5	张虹	北京工业大学固体微结构与性能研究所	9	73	5.0	8.0
6	郭汉生	北京工业大学固体微结构与性能研究所	5	20	3.0	4.0