Ti微测辐射热计关键技术分析

• 作者: 刘永智 刘爽 李华高 杨亚培
• 来源期刊: 半导体光电
• 学科: 工学
• 关键词: 非致冷红外探测 Ti微测辐射热计 热导 填充因子 噪声
• 年，卷（期）: 2005,（1）
• 所属期刊栏目: 光电器件
• 页码范围: 10-13
• 页数: 4页
• 分类号: TN215
• 字数: 2803字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-5868.2005.01.003

摘要

Ti微测辐射热计具有高电阻温度系数、低噪声和与IC工艺兼容性好等特点,在非致冷红外图像系统等应用领域越来越受到关注.文章通过理论分析指出,降低热导、提高填充因子和降低噪声是该种器件形成和使用中的关键技术,给出了相关技术的研究状况.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李华高		10	55	3.0	7.0
2	刘爽	电子科技大学光电信息学院	65	410	11.0	17.0
3	刘永智	电子科技大学光电信息学院	192	1583	19.0	29.0
4	杨亚培	电子科技大学光电信息学院	43	293	10.0	14.0